Hauzer Techno Coating

PVDと組み合わせたプラズマ窒化技術

プラズマ窒化(PVDとの複合使用例)

プラズマ窒化は、窒素の拡散プロセス技術です。真空容器内のプラズマにより製品の表面への拡散に用います。結果としてスチール表面の硬化(硬度~1000HVを限度として)に用い、長寿命化と応力限界や疲労耐性を向上させます。ハウザーは、プラズマ窒素化とPVDコーティングとの2つの処理を組み合わせて一つの装置で実現します。この組合せは、複合処理工程として知られ、ハウザー装置では、窒素原子の量を~10-2 mbar程度の減圧下で処理を行い、White Layerと呼ばれる特徴的な層の形成を防止します。この層はPVDコーティング層の密着性低下の原因となります。加えて、PVD層はさらに硬度の高い被膜の形成(7000 HVまで)に用いられます。PVDコーティングとともに用いるプラズマ窒化は、打ち抜き工具や押し出し金型を例に用いられています。

 

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