Hauzer Techno Coating

PACVD技術とは

PACVDは、Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition(プラズマアシスト化学蒸着)の略称です。

PACVDは、Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition(プラズマアシスト化学蒸着)の略称です。EnhancedのEを用いてPECVDとも呼ばれます。PVDプロセスでは、材料は固体から気化しますが、PACVDでは、気相から膜が形成されます。HMDSO (hexamethyl-disiloxane)のようなガスは、およそ200ºCで分解しプラズマ形成に用いられます。アルゴンのような非反応性ガスは、イオンを製品に運ぶために使われ、ミクロン程度の薄膜コーティングを成長させます。ダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティングは、PACVDコーティングの一例です。自動車向けのトライボロジーで使われています。

 

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