Hauzer Techno Coating

アーク蒸着とは

アーク蒸着は、物理蒸着の一種です。

アーク蒸着とは

アーク蒸着は、物理蒸着の一種です。PVDによるハードコーティングの歴史は、アーク溶接を起源とするアーク技術から始まりました。蒸着用金属は真空容器内部にブロック状の固体(ターゲット)として配置されます。グロー放電(アーク)が点火して、ターゲット上を走り、直径数ミクロンの小さなスポットでターゲット材料が蒸発します。アークは磁石による磁場に導かれて移動します。材料物資が蒸発し、イオン化して形成されたプラズマは、真空容器中で回転しながら移動している基材をコーティングします。アークコーティングは、例えば工具や部品のコーティングに使用されます。アークコーティングの例としてはTiN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、TiCN、CrCN 、CrNがあります。


アークコーティングの特徴

+ 高い成膜速度 (~1-3 µm/h)
+ 高イオン化率、良好な密着性と高密度コーティングが可能。
+ ターゲットを冷却することにより、製品への入熱を抑えることができ、100℃以下でのコーティ
ングが可能。
+ 様々な金属化合物でもターゲット組成の変化なく蒸着が可能。
+ カソードの設置場所を選ばないため(水平、垂直、上下逆向き)、フレキシブルな装置設計が
可能。

アーク蒸着の主な欠点

- 成膜材料が、主に金属(非酸化物)に限定される。
- 高電流で使用すると、ターゲット材料によるドロップレットが発生しやすい。
 

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