Hauzer Techno Coating

PACVD Technik

PACVD oder PECVD ist die Abkürzung für 'Plasma Assisted (Enhanced) Physical Vapour Deposition'

Was bedeutet PACVD Technik?

PACVD oder PECVD ist die Abkürzung für 'Plasma Assisted (Enhanced) Physical Vapour Deposition', oder Plasma-unterstützte chemischen Dampfabscheidung.

Während bei der PVD Technik das Beschichtungsmaterial in der Regel in fester Form und ggf. durch Wärmezufuhr verflüssigt wird, erfolgt die Zufuhr bei der CVD Technik in der Gasphase. So kann zur Erzeugung von Kohlenstoffschichten (Diamant) Acetylen (C2H2) oder von Siliziumhaltigen Schichten HMDSO (Hexa-Methyl-Disiloxan) zugeführt werden, dass im Plasma gecrackt und damit zur Beschichtung zur Verfügung gestellt wird.

Derartige Schichten kommen vorwiegend in tribologischen Anwendungen als reibarme- und verschleißfeste Beschichtungen im Automobilbau zum Einsatz.

 

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