Hauzer Techno Coating

PACVD 技术

PACVD是等离子体辅助化学气相沉积的缩写

什么是PACVD技术?

PACVD是等离子体辅助化学气相沉积的缩写。有时也写作PECVD,E代表增强的意思。在PVD过程中,涂层材料是从固体形式蒸发得到;而在PACVD过程中,涂层是从气体形式得到。气体,如HMDSO(六甲基二甲硅醚)在等离子体作用下,大约200 ºC时发生裂解。非反应气体,如氩气,可以使离子沉积到工件表面并形成很薄的涂层。类金刚石(DLC)涂层就是PACVD技术制备的很好的例子,通常应用于摩擦学和汽车行业。
 

 

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