Hauzer Techno Coating

电弧蒸发

电弧蒸发是物理气相沉积的一种方式。

什么是电弧蒸发?

电弧蒸发是物理气相沉积的一种方式。PVD应用在硬膜就是开始于电弧技术,电弧技术最早起源于电焊。将被蒸发的固体金属(靶材)置于真空腔室内。产生辉光放电后,在靶材表面运行。靶材在很小的范围内,大概是几个微米大小,蒸发。电弧的运动是由磁场所 控制的。蒸发出的金属离子形成的等离子体将涂镀在被涂层工件表面。这些工件是在真空腔内旋转运动。电弧制备的涂层通常被用于工具和零部件的表面涂层。例如,TiN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, TiCN, CrCN 和 CrN。

电弧技术的优点:

+ 高沉积速率(~1-3 µm/h)
+ 高离化率,形成结合力好,致密的涂层
+ 靶材冷却,涂层工件受热较少,这样可以在低于100°C以下沉积
+ 可以蒸发多种成分的金属,剩余固态靶材成分不变
+ 阴极可以放置在任何位置(水平、垂直、上部和下部),设备设计灵活

电弧技术的主要缺点:

- 靶材材料受限 - 只能使用金属(不包含氧化物),导致蒸发温度不会低
- 由于很高的电流密度,一些靶材材料以小液滴的形式被蒸发溅出


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